平面研磨機是超精密平面研磨加工中重要、基本的加工設備，它具有以下特征：

　　(1)高精度，主要的性能指標有幾何精度、定點精度和重復定點精度等。

　　(2)高剛度，包括機床本身的剛度，工件、機床、夾具等所組成的工藝系統剛度。

　　(3)高穩定性，在規定的工作環境下和使用過程中應能長時間保持精度，應有良好的耐磨性、抗振性等。

　　(4)高自動化，為了保證加工質量，減少人為因素影響，采用數控系統實現自動化加工。

　　超精密平面研磨可以采用單面研磨或者雙面研磨方式加工。下圖為一種雙面平面研磨機。

　　圖 2.1 雙面平面研磨機工作原理圖

　　下面以雙面研磨方式為例介紹加工設備運行原理：在研磨加工時，被加工工件放在工件保持架內，上下均有研磨盤。下研磨盤由電機通過減速機構帶動旋轉。為在工件上得到均勻不重復的研磨軌跡，工件保持架制成行星輪式，外面和內齒輪嚙合，里面和小齒輪嚙合。同時上研磨盤加載并有一定的浮動，以避免兩研磨盤不平行造成工件兩研磨面的不平行，減小誤差復映率。

　　在上述傳統的研磨拋光機上用軟質拋光盤進行高精度平面拋光時，由于研磨盤的變形和磨損，通常需要憑借工人的經驗，頻繁地將研磨盤工作面在標準平板上進行手工對研來修正拋光盤面的變形，以實現高精度的平面加工。

　　為了盡可能排除研磨加工時對工人熟練程度的要求，需要對機床進行改進。浙江工業大學的有關學者以加工量與拋光盤的磨損量及兩者的相對速度、壓力、時間的比例關系為基礎，通過對圓環狀拋光盤及圓形工件之間的研磨運動的分析及考慮壓力分布下的軟質拋光盤的彈性變形，采用修正環可實時在線修整拋光盤的平面度，開發了修正環形平面研磨拋光機，其外觀如下圖所示。本文章的一些實驗數據就是在該機床上得到的。

　　圖 2.2 修正環形研磨拋光機示意圖

　　這種機床的特點及好的點為：將切片后的薄片工件粘帖在平行平面夾具上，使薄片工件與夾具成為一體，作為名義大口徑厚工件加工，并通過修正環的連續旋轉來實時修正拋光盤的平面度。這種加工方法可以通過理論公式推導出高精度的平面加工條件，并可通過在粘帖有薄片工件的加工夾具上，附加一個與加工夾具同直徑的斜切圓柱體砝碼，作為偏心載荷來修正平面度，易于操作，修正結果再現性也很高。